維修真空泵需要以下專業工具：

通用鉗工工具一套，包括各種鉗子、錘子等。

梅花扳手、套筒扳手、內六角扳手成套，方便應對不同規格的螺絲。

油釬，用于插橡皮管。

劃刀架，用來劃圓橡皮墊圈。

橡皮劃刀，可劃直線橡皮塊、割橡皮管。

沖頭，沖制橡皮墊的螺釘孔。

曲柄絞手，繞制旋片彈簧等，根據彈簧內徑選擇直徑。

剪刀、鏟刀。

“0”級大平板三塊。

鑷子、毛筆、刷子、各種金剛砂研磨劑、粗、細金相砂紙等。

輔助油料、溶劑和化學試劑有：汽油、酒精、丙酮、苯等溶劑；蓖麻油，用于插真空橡皮管、潤滑及輔助密封；煤油，加粗、精凡爾砂作研磨劑用；蟲膠漆溶液，輔助密封；真空封脂、真空封臘等密封劑；苛性鈉，煮洗真空橡皮用。

計量、檢漏用儀器包括：千分尺、卡尺、角尺、劃線尺、深度尺、百分表等。

高頻火花檢漏器，熱偶計、電離計、麥氏計等。有條件可備氦質譜檢漏儀、抽速測試裝置。

另外，在維修過程中，還可能用到真空泵密封圈，定期檢查和更換老化或磨損的密封圈可防止泵漏氣，提高工作效率。

真空泵油也很重要，能潤滑和密封，變質后要及時更換。

真空泵清洗劑能清除泵內污垢和沉積物。

維修工具還有扳手、螺絲刀、氣密測試儀等，用于拆卸、安裝和測試泵的各個部件。